話你知：纖維晶片如給髮絲「雕花」 從壽司卷得設計靈感

【明報專訊】把晶片做進纖維，難度如同給髮絲「雕花」，陳培寧將製造纖維晶片比喻成「在坑坑洼洼的軟泥地上建高樓」，還要「讓高樓經得起拉伸扭曲」，需要解決光蝕適配、結構穩定性和空間限制三大挑戰。

纖維每厘米表面積僅0.01至0.1平方厘米，團隊從壽司卷得到靈感，先在彈性高分子表面完成高精度微納加工，再把它捲成纖維形態，在纖維內部構建多層集成電路，令1毫米長的纖維目前可集成1萬個晶體管，與一些商業醫用植入晶片相當。

1毫米纖維 可集成1萬晶體管

晶片光刻工藝依賴平整的矽晶圓襯底，團隊通過等離子刻蝕技術將彈性高分子表面粗糙度降至1納米以下，「相當於把軟泥地打磨平整，為建高樓打下地基」。

光刻過程使用的多種極性溶劑會破壞前期製備的平整表面，團隊用高分子材料聚對二甲苯，通過沉積工藝，在彈性襯底表面形成「硬-軟異質結構」，如同給電路層穿上護甲，在拉伸、扭轉等變形中保持電路穩定。

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